擁有超過(guò)50年經(jīng)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)室團(tuán)隊(duì)，與客戶合作不斷開(kāi)發(fā)新的工藝 ，以確?？梢允褂米钚潞拖冗M(jìn)的工藝技術(shù)來(lái)幫助客戶 。無(wú)論是持續(xù)進(jìn)行研發(fā)以確保我們掌握新技術(shù)和工藝知識(shí)，還是繼續(xù)開(kāi)發(fā)我們現(xiàn)有的產(chǎn)品，我們始終都在不斷前進(jìn)。

 以下是最近幾周實(shí)驗(yàn)室開(kāi)發(fā)的CMP銅樣品的示例：

 在Logitech的實(shí)驗(yàn)室通過(guò)平坦化到阻擋層，成功地加工了電鍍銅晶圓。

晶圓經(jīng)歷了多種器件的沉積，使用Logitech CMP Orbis拋光機(jī)對(duì)每一層的銅鍍層進(jìn)行了平坦化。

 無(wú)論銅是電鍍層還是硅通孔（TSV）或玻璃通孔（TGV）的一部分，我們的CMP Tribo和CMP Orbis系統(tǒng)都可以為下一步的器件工藝提升到高水平的性能做準(zhǔn)備。此外，對(duì)于給定的工藝設(shè)置條件，智能驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)還可以通過(guò)摩擦系數(shù)（CoF）等監(jiān)測(cè)提供可靠的終點(diǎn)檢測(cè)。

 摩擦系數(shù)CoF輸出數(shù)據(jù)的示例可以在以下圖表中看到。

Logitech致力于不斷發(fā)展和改進(jìn)，以使我們的客戶受益。